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日立SU-1510鎢燈絲掃描電鏡

SU-1510鎢燈絲掃描電鏡

主機寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

特點
1. 儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標配低真空功能,可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。
3. 可載入至大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進行元素分析。
4. 強大的鼠標控制功能,可實現電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統,潔凈無污染。

性能指標
二次電子分辨率:3.0nm(高真空,30kV)
背散射電子分辨率:4.0nm(低真空:6Pa,30kV)
放大倍率:5~300,000倍

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